ELA 엑시머 레이저 어닐링 디스플레이 용어.zip
'ELA Excimer Laser Annealing'는 TFT의 재료인 아몰퍼스 실리콘 o-Si을 LTPS로 전환하기 위해 사용하는 레이저 공정입니다. 비정질 실리콘 형태인 a-Si은 원자가 무질서하게 배열돼 있어. 전자가 빠르게 이동하기 어렵습니다.
그림과 같이 엑시머 레이저를 a-Si층에 내리쬐면, 해당 영역이 에너지를 받아 재결정화되면서 질서 정연한 단결정 형태의 실리콘 군집을 형성하게 됩니다. 이 과정을 ELA 공정이라고 부르는데요. ELA 공정을 거치고 나면 전자의 이동 속도가 빨라지기 때문에 TFT 성능이 향상됩니다.
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