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클린룸(Clean Room)은 디스플레이·반도체 등을 생산하는 팹(FAB)에서 주로 사용되는 건물 내부의 환경 형태입니다. 디스플레이에서 클린룸이란 ‘먼지를 비롯한 제반 환경 조건(기온, 습도, 기류, 기압 등)이 일정한 규격에 맞게 유지되는 깨끗한 공간’을 의미합니다. 디스플레이는 미세한 전자회로와 박막 층(Layer)들로 이루어져 있기 때문에 제품 생산 과정에서 아주 작은 먼지나 입자 조차도 제품의 품질에 영향을 줄 수 있습니다. 따라서 먼지가 극도로 적은 공간, 청정실(淸淨室)이라고도 불리는 ‘클린룸’을 조성해 공정을 진행합니다.

디스플레이에서 클린룸은 ‘클래스(Class)’라는 규격으로 청정 등급을 표시합니다. 클래스란 ‘가로와 세로, 높이가 각 1피트(ft)인 정육면체 공간당 포함하고 있는 0.3㎛ 크기 이상의 먼지(파티클) 개수’를 뜻합니다. 초미세먼지의 크기 2.5㎛ 보다 8배나 작은 크기를 기준으로 먼지의 갯수를 세는 것인데요. 예를 들어 1입방피트 안에 0.3㎛ 보다 큰 먼지가 1000개 들어있다면 ‘클래스 1000’이라고 표시합니다. 일반적인 OLED 디스플레이 주요 팹(FAB) 공정인 TFT(박막트랜지스터), EVEN(증착인캡)은 ‘클래스 1000’ 수준의 환경에서 이루어지며, 이는 일반적인 대기 상태인 ‘클래스 300만’과 비교해 상당히 높은 청정도입니다.

▲ 클린룸 내부의 설비와 방진의류를 착용한 근무자

클린룸 안에서는 각종 생산 설비와 사람들이 움직이기 때문에, 설비 및 근무자로부터 먼지가 발생하게 됩니다. 따라서 높은 청정도를 항상 유지하기 위해 클린룸은 다양한 장치로 구성돼있습니다. 천장의 고성능 필터와 바닥에 설치된 공기순환 구조를 통해 24시간 깨끗한 공기를 유지하며, 근무자가 클린룸 내부로 들어가기 위해서는 특별한 복장인 ‘방진의류’를 착용하고 에어샤워를 거쳐야 합니다. 방진의류는 머리카락이나 먼지 등 미세한 입자들이 클린룸으로 유입되지 않게 하는 기능은 물론, 디스플레이 회로에 영향을 줄 수 있는 정전기를 방지하는 역할도 합니다. 초미세 공정이 필요한 디스플레이 제품 생산에서 클린룸은 보다 완벽한 제품의 탄생을 위한 보다 완벽한 청정도를 추구하는 공간입니다.

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