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[디스플레이 용어알기] 42. 증착(Evaporation)

‘증착’은 어떤 물질을 기판 표면에 박막으로 부착시키는 것을 말합니다. 진공 공간 속에서 증착하려는 물질의 화합물을 가열 증발시키는 방법입니다.

OLED는 디스플레이 픽셀을 형성하는 컬러패터닝을 할때 이 증착 방법을 사용합니다. OLED 제조과정을 보면 크게 5가지로 나뉩니다. LTPS(Low Temperature Polycrystalline Silicon) 공정 → 증착(Evaporation) 공정 → 봉지(Encapsulation)공정 → 셀(Cell) 공정 → 모듈(Module) 공정

[디스플레이 용어알기] 42. 증착(Evaporation)

증착은 자체발광하는 OLED 픽셀을 만들기 위한 과정에 필요한 방법입니다. OLED는 기판 위에 R,G,B 색을 내는 유기발광층이 있습니다. 이 유기물층은 빛을 발광하는 역할로 발광층과 발광을 돕는 보조층으로 구성되어 있습니다. 보조층인 HIL, HTL, EIL, ETL은 정공과 전자가 쉽게 발광층으로 들어가고 이동하게 만들어주는 박막층입니다. 이렇게 유기물층을 구성하기 위해 사용되는 방법이 바로 ‘증착’입니다.

증착 공정을 진행하기 위해서 먼저 진공 챔버라 불리는 설비에서 발광유기물질 증착을 위한 LTPS 원판을 준비합니다. 챔버 안에 LTPS 원판이 준비되면 메탈마스크(Metal Mask)를 원판에 갖다 댑니다.

마스크는 유기물층을 증착할때 특정 위치에만 증착할 수 있도록 철판에 구멍을 낸 장비입니다. 특히 R,G,B 각각의 유기물이 자신의 위치에 딱 맞게 증착될 수 있도록 돕기 위해서는 작은 픽셀을 나눌 수 있는 파인메탈마스크(FMM, Fine Metal Mask)를 사용합니다.

마스크가 준비되고 그 아래 증착원을 놓고 적정 온도를 가열하면 분자 단위의 유기물질이 마스크를 통과하면서 원하는 위치에 입혀지는 것입니다. 이런 과정을 거쳐서 빛을 내는 유기물층과 음극층이 완성됩니다.

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